氨气、笑气、溴化氢、氯化氢、氯乙烷、四氯化硅、四氟化硅、二氧化硅、四氟化硫、四氟化碳、全氟乙烷、氦气、氢气、六氟化硫、溴化氢、氯化氢、乙硼烷、磷化氢、三氟化硼、砷化氢、乙硅烷、二氯二氢硅、三氟甲烷、砷烷

　　混合气体：磷烷/氢气、磷烷/氮气、磷烷/氩气、硅烷/磷烷、砷烷/氢气、硼烷/氮气