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吉林市吉化北方超纯气体有限公司
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电子标准气体的配置工艺

发布时间:2018-06-08 作者:未知  来源:未知

    同其他气体不同,吉林气体厂对盛装电子标准气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高、稳定性再好也无法使用。首先混合气体的气瓶几何尺寸如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。

    对于不同种类的标准气体在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO 等,我们国家在此方面仍在认识和完善中而对于混合气体的阀门CGA、ISO 也有其规定。混合气体的化学特征基本上是按照混合气体的LC50计算作为判定依据的,试想若缺乏系列标准作支撑,我们如何能满足用户对电子混合气体的要求。当下我国气体供应商仅仅是根据某用户的需求来满足其特定需求,满足不了,则采用所谓过渡接头来实现。这样可以满足需求,但因为漏点增多,无疑不利于安全使用,所以尽快对电子混合气体立规意义重大。

    电子标准气体的钢瓶除了上述的基本要求外,其内壁的洁净度尤其重要,否则,再好的气体都会因气瓶的污染而前功尽弃。气瓶洁净度的概念在我国尚属起步阶段,而国外对于气瓶处理好坏,要有三个具体的检测指标: 氧含量、水含量、颗粒物含量,通常经过物理或化学处理后的气瓶干燥后,充超纯氦气,通过测定超纯氦气的指标来确定气瓶是否达到要求。气瓶内壁处理方法很多,喷砂、除锈、脱油、酸洗等是基本预方法,而镀镍、研磨等其它方法则是为了内表的深度处理,如日本某公司采用“SUPERUNIQUAL”研磨处理方法,对充装PH3 0. 8%-He 的气瓶处理,钢瓶内壁粗糙度达到0. 8 μm 以下,颗粒物含量: 10 ps /cf( 0. 1 μm at N2 ) 。

 

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