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吉林市吉化北方超纯气体有限公司
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电子气体的两种分类方法

发布时间:2017-09-22 作者:未知  来源:未知
   吉林气体厂表示:电子气体是半导体工业、微电子工业重要的且必不可少的基础材料,随着半导体工业和微电子工业的迅猛发展,对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了较高的要求。目前,我国电子气体的品种、数量和质量与发达国家相比,尚有较大差距,因此尽快发展和振兴我国的电子气体,它具有十分重要而深远的战略意义。

   1、吉林气体厂介绍电子气分类方法之一
   按电子气的组成分类,电子气体大致可分为三大类,即单质类气体、化合物类气体和混合物类气体。
   化合物类应用较多,又可细分为三种,即氢化物(如SiH4、PH3、B2H6 等)、氟化物(如NF3、BF3、SiF4….)和碳氟化合物(如CF4、C2F6、C5F12 等)。

   2、吉林气体厂介绍电子气体分类方法之二
   根据电子气体的不同用途,电子气体可分为十多类,例如晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。

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