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吉林市吉化北方超纯气体有限公司
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吉林气体厂讲解电子气分类方法

发布时间:2017-06-30 作者:未知  来源:未知
   因为电子工业服务的电子气体品种繁多,用途五花八门,它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气的组成来分类,也可以按电子气的用途分类。

   1、吉林气体厂讲解电子气分类方法之一
   按电子气的组成分类,电子气体大致可分为三大类,即单质类气体、化合物类气体和混合物类气体。
   其中化合物类应用较多,又可细分为三种,即氢化物(如SiH4、PH3、B2H6 等)、氟化物(如NF3、BF3、SiF4….)和碳氟化合物(如CF4、C2F6、C5F12 等)。

   2、吉林气体厂讲解电子气体分类方法之二
   根据电子气体的不同用途,电子气体可分为十多类,例如晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。

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