吉林气体厂讲解电子气分类方法

   因为电子工业服务的电子气体品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气的组成来分类，也可以按电子气的用途分类。

   1、吉林气体厂讲解电子气分类方法之一

   按电子气的组成分类，电子气体大致可分为三大类，即单质类气体、化合物类气体和混合物类气体。

   其中化合物类应用较多，又可细分为三种，即氢化物（如SiH4、PH3、B2H6 等）、氟化物（如NF3、BF3、SiF4….）和碳氟化合物（如CF4、C2F6、C5F12 等）。

   2、吉林气体厂讲解电子气体分类方法之二

   根据电子气体的不同用途，电子气体可分为十多类，例如晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。