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高纯气体充装和抽空要注意哪些
发布时间：2017-04-21　作者：未知　来源：未知

吉林气体厂为您总结高纯气体充装和抽空的注意事项：

1、高纯气体充装的准备：

①气瓶上架。

②微开阀门通入0.2MPa压力

③检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。

④关闭阀门，开启充装排放空阀，泄压至0.

⑤目测压力表是否为0。

⑥(确认充装软管与气瓶连接无泄漏时可，压力为0时，可直接抽空)。

2、高纯气体充装的抽空操作：

①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;

②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

③真空表指示值<-0.1MPa

④抽空5~15分钟后。

⑤关闭抽空总阀。

⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

⑦关闭真空泵，抽空结束。

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吉林市吉化北方超纯气体有限公司 TAG:标准气体、电子气体、高纯气体、干冰

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