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吉林市吉化北方超纯气体有限公司
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高纯气体充装和抽空要注意哪些

发布时间:2017-04-21 作者:未知  来源:未知

    吉林气体厂为您总结高纯气体充装和抽空的注意事项:   

    1、高纯气体充装的准备:

    ①气瓶上架。

    ②微开阀门通入0.2MPa压力

    ③检查充装软管与气瓶连接是否泄漏。

    ④关闭阀门,开启充装排放空阀,泄压至0.

    ⑤目测压力表是否为0。

    ⑥(确认充装软管与气瓶连接无泄漏时可,压力为0时,可直接抽空)。

    2、高纯气体充装的抽空操作:

    ①开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,关闭抽空管道截止阀后,停止真空泵;

    ②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

    ③真空表指示值<-0.1MPa

    ④抽空5~15分钟后。

    ⑤关闭抽空总阀。

    ⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

    ⑦关闭真空泵,抽空结束。

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